最好最快的方法来学习MEMS设计

In 2003, Benedetto Vigna mused that a key to successful MEMS design was “lateral thinking of ‘Leonardo-like’ MEMS engineers … who have a breadth of skills and knowledge in technological processes, materials science, mechanical and electronic design and strong physics background.” [1] For those of us who are not “Leonardo-like,” how do we go about learning how to design a MEMS device?

如果你是刚刚起步，对于MEMS设计的经典教科书引用是微系统设计由Stephen Senturia [2]。这本书提供了一个介绍，MEMS和MEMS设计，微细加工的讨论，以及建模策略和微机电系统，电路域物理方面的考虑，以及系统级设计。

对于那些寻求在大学环境中学习MEMS设计的人，美国的几所大学和世界各地的微型和纳米机电系统的基础知识的课程。以下是美国一些大学列表，具有致力于研究MEMS和NEMS的研究实验室：

• 美国加州大学伯克利分校合作与半导体和MEMS产业的主要参与者，并有几个实验室专用的全部或部分MEMS和NEMS研究，包括伯克利传感器和执行器中心（BSAC）。UC Berkeley还提供了具有MEMS和纳米技术浓度的工程学位硕士学位。
• 这加州大学欧文大学有一个Microsystems实验室，做芯片级陀螺仪和惯性测量单元（IMU）的研究和开发。
• 明尼苏达大学有其Nano和MicroSystems应用中心（NMAC），它通过在纳米和微系统及其应用的课程一起研究提供了研究生教育。
• 卡内基·梅隆大学有微机电系统实验室对微型传感器和执行器系统进行研究。
• 波士顿大学有一个MEMS和纳米技术组A.实验室微系统技术（LMST），这是参与对MEMS和金属材料的跨学科研究。
• 麻省理工学院有其微系统技术实验室，这确实在集成电路，系统，电子和光子装置，MEMS，生物微机电系统，分子器件，纳米技术，传感器，和致动器的研究。
• 马奎特大学MEMS和先进微系统实验室对膜传感器和致动器进行研究，相变材料，微电触点和微开关，能量收集和储存以及微网格。

有关MEMS设计寻求更短，成人非学历教育的学生，这些机构提供有关MEMS的一般原则课程：

• 高科技研究所为基本MEMS理论提供3天的介绍课程。本课程评估MEMS如何处理，MEMS在传感器和执行器中的应用，MEMS的使用问题以及MEMS装配，房屋，测试和互连技术。
• Semitracks，公司。提供为期两天的MEMS技术概述，涵盖设计，制造，包装，可靠性，仿真和测试。
• 该协会技术，管理和应用工程（ATMAE）提供了MEMS基金会认证（MFC）程序涵盖与MicroSystems制造中涉及的背景，理论和技能有关的主题，包括致动器，换能器和传感器的介绍。

bob体育 app 使用，提供软件和培训MEMS设计bob体育 app 。它的科因登斯MP.软件平台提供了一个统一的环境MEMS设计，从全参数化设计进入生产，可以在抽象的各级模拟功能模型开始。内的一个接口，用户可以建立一个MEMS装置和分配材料，机械和电性能。用户还可以方便地模拟设备的行为，使用集合内置的物理模型。你甚至可以看到它的更大的电路或系统内的MEMS器件的行为，如何模拟最终成品的行为。该软件包括示例和演示如何设计教程和模拟加速度计，陀螺仪，压力传感器，麦克风，致动器，微反射镜，微辐射，开关，谐振器，等等。

COVENTOR还为其客户和长方体提供了特定于设计的培训和支持bob竞猜appMP.被用作世界上许多领先的大学计划的教学工具。Coventor公司MP.使得它比以往任何时候对任何人学习MEMS设计和快速测试其新的设计理念更容易。

随着今天的学术研究，培训和软件工具，“莱昂纳多，”以前需要设计MEMS的多学科能力现在在任何想要成为MEMS设计师的人的范围内。

参考

1. 豇豆，“MEMS的困境：如何从移动‘？‘类别’技术推动’向”市场拉动2003国际研讨会VLSI技术，系统和应用。技术论文的论文集。（IEEE猫No.03TH8672），2003，第159-163，DOI：10.1109 / VTSA.2003.1252577。
2. Senturia，微系统设计，2001年，Kluwer学术出版社。