In 2003, Benedetto Vigna mused that a key to successful MEMS design was “lateral thinking of ‘Leonardo-like’ MEMS engineers … who have a breadth of skills and knowledge in technological processes, materials science, mechanical and electronic design and strong physics background.” [1] For those of us who are not “Leonardo-like,” how do we go about learning how to design a MEMS device?
如果你是刚刚起步,对于MEMS设计的经典教科书引用是微系统设计由Stephen Senturia [2]。这本书提供了一个介绍,MEMS和MEMS设计,微细加工的讨论,以及建模策略和微机电系统,电路域物理方面的考虑,以及系统级设计。
对于那些寻求在大学环境中学习MEMS设计的人,美国的几所大学和世界各地的微型和纳米机电系统的基础知识的课程。以下是美国一些大学列表,具有致力于研究MEMS和NEMS的研究实验室:
有关MEMS设计寻求更短,成人非学历教育的学生,这些机构提供有关MEMS的一般原则课程:
bob体育 app 使用,提供软件和培训MEMS设计bob体育 app 。它的科因登斯MP.软件平台提供了一个统一的环境MEMS设计,从全参数化设计进入生产,可以在抽象的各级模拟功能模型开始。内的一个接口,用户可以建立一个MEMS装置和分配材料,机械和电性能。用户还可以方便地模拟设备的行为,使用集合内置的物理模型。你甚至可以看到它的更大的电路或系统内的MEMS器件的行为,如何模拟最终成品的行为。该软件包括示例和演示如何设计教程和模拟加速度计,陀螺仪,压力传感器,麦克风,致动器,微反射镜,微辐射,开关,谐振器,等等。
图1:MEMS产品设计使用CoventorMP
COVENTOR还为其客户和长方体提供了特定于设计的培训和支持bob竞猜appMP.被用作世界上许多领先的大学计划的教学工具。Coventor公司MP.使得它比以往任何时候对任何人学习MEMS设计和快速测试其新的设计理念更容易。
随着今天的学术研究,培训和软件工具,“莱昂纳多,”以前需要设计MEMS的多学科能力现在在任何想要成为MEMS设计师的人的范围内。